典型用户

双面对准接触式紫外光刻机(Ma-6)

光刻机品牌：SUS 型号：MA6

仪器名称：

双面对准接触式紫外光刻机(Ma-6)

英文名称：

Dual-Face Quasi-Contact Ultraviolet Lithography Machine

所属分类：

工艺试验仪器 > 加工工艺实验设备 > 机加工工艺实验设备

学科领域：

物理学化学

主要技术指标：

最大载片为4英寸，可以实现双面对准，最小线宽可以达到1um，套刻精度0.5um，曝光模式可支持硬接触、软接触、接近和真空4种模式。

主要功能：

MA6型号双面对准接触式紫外光刻机适用于所有标准化的光刻应用。具备顶部和底部对准系统。底部对准系统允许对基片上下表面进行图形加工，适用于三五族易碎化合物、不规则基片、透明基片以及碎片的微加工。具备键合对准升级功能和衍射减小光学系统。曝光方式可采用接近式、软接触、硬接触以及真空接触四种方式。

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