电感耦合等离子体刻蚀机

仪器名称：

电感耦合等离子体刻蚀机

英文名称：

TCP9600SE

所属分类：

工艺试验仪器 > 电子工艺实验设备 > 半导体集成电路工艺实验设备

学科领域：

电子与通信技术

主要技术指标：

无

主要功能：

Mai-chambe-bas-pressure：≤-mTorrMai-chambe-lea-rate：≤-mTorr/minLoadloc-chambe-bas-pressur-：≤5-mTorrLoadloc-chambe-lea-rate：≤1-mTorr/mi-Temperatur-controlElectrod-temperatur-control：2-o-setpointElectrod-temperatur-rang-30-t-85℃Chambe-wal-temperatur-control：10-o-setpointMF-f