等离子增强型化学气相沉积系统

仪器名称：

等离子增强型化学气相沉积系统

英文名称：

Concept one

所属分类：

工艺试验仪器 > 电子工艺实验设备 > 半导体集成电路工艺实验设备

学科领域：

电子与通信技术

主要技术指标：

无

主要功能：

Nitrid-Depositio-rate-1800+/-200A/minUniformit-WIW,WTW,LTL-＜3%Stress-（1.0-2.0）E-compreessiv-dynes/cm2Oxid-Depositio-rate-4400+/-300A/minUniformit-WIW.WTW.LTL-＜3%Refractiv-Index-1.45+/-0.05Stress-＜1.5E-conpressiv-dynes/cm2Particle-Mechanica-particle(＜0.3um)-＜30Particl-o-film(0.3um)-＜5