微光显微镜
数码显微镜
品牌:REL
型号:reltron ics-1000pem
仪器名称:
微光显微镜
英文名称:
所属分类:
分析仪器 > 热分析仪器 > 热成像仪
学科领域:
物理学
主要技术指标:
● 12寸载物台,载物台和平台平整度<=5micron,具备激光修正能力 ●="" 载物台步进精度:0.1微米,往返精度:0.5um,plic软件控制="" ●="" 载物台可以360度旋转,带有细微调节机构,精度0.1度,带有锁死功能="" ●="">=5micron,具备激光修正能力>
主要功能:
PERFICT PL-S12探针台配备了12英寸载物台,可进行最大12英寸的晶圆测试。配有屏蔽箱和防震桌,具有极高的测试稳定性,同时还具备激光修正能力。载物台具有加热功能,温度可达到300摄氏度,具备水冷功能。高性能的探针座漏电流测量精度可达100fA,低电容测试科达0.1pF。