探针台
探针台
品牌：展芯科技
型号：PERFICT PL-S12
仪器名称：
探针台
英文名称：
所属分类：
工艺试验仪器 > 电子工艺实验设备 > 电真空器件工艺实验设备
学科领域：
物理学
主要技术指标：
12寸载物台，载物台和平台平整度<=5micron，具备激光修正能力 ●="" 载物台步进精度：0.1微米，往返精度：0.5um，plic软件控制="" ●="" 载物台可以360度旋转，带有细微调节机构，精度0.1度，带有锁死功能="" ●="">
主要功能：
PERFICT PL-S12探针台配备了12英寸载物台，可进行最大12英寸的晶圆测试。配有屏蔽箱和防震桌，具有极高的测试稳定性，同时还具备激光修正能力。载物台具有加热功能，温度可达到300摄氏度，具备水冷功能。高性能的探针座漏电流测量精度可达100fA，低电容测试科达0.1pF。
