典型用户

去胶机

甲烷/非甲烷烃检测仪品牌：TE 型号：IoN Wave10

仪器名称：

去胶机

英文名称：

MicroWave Plasma etching

所属分类：

工艺试验仪器 > 电子工艺实验设备 > 半导体集成电路工艺实验设备

学科领域：

电子与通信技术

主要技术指标：

全自动操作，可用于6inch或8inch晶圆的去胶。片内去胶均一性优于±10%；片间去胶重复性优于±5%。功率600W的2.45GHz发生器。 Windows中文操作系统，图形化操作界面。可配备多路MFC。

主要功能：

PVA TePla IoN Wave 10利用微波等离子体清除晶圆表面的光刻胶或用于MEMS结构的释放。

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江苏物联网研究发展中心拥有任意波形发生器、机械划片机、高压静态参数测试仪、去胶机、真空封装机、倒扣焊机、全自动金线键合机、功率探针台、晶圆研磨机、晶圆键合机等科研仪器。

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