典型用户

扫描电子显微镜

扫描电镜（SEM）品牌：FEI公司型号：Quanta 450FEG

仪器名称：

扫描电子显微镜

英文名称：

Scanning electron microscope

所属分类：

分析仪器 > 电子光学仪器 > 扫描电镜

学科领域：

物理学测绘科学技术材料科学

主要技术指标：

1.电子光学1）高分辨肖特基场发射电子枪2）优化的高亮度、大束流镜筒3）45°锥度物镜极靴，及“穿过透镜”的压差真空系统，加热式物镜光阑4）加速电压: 200 V - 30 kV5）束流: 最大200 nA并连续可调6）放大倍数: 6 x 1,000,000 x (四幅图像显示)2.分辨率1）高真空30 kV下0.8 nm (STEM)* 30 kV下1.0 nm (SE)30 kV下2.5 nm (BSE)* 1 kV下3.0 nm (SE) 2）高真空下减速模式* 1 kV下3.0 nm (BSE)*1 kV下2.3 nm (ICD)* 200 V下3.1 nm (ICD)* 3）低真空 30 kV下1.4 nm (SE)30 kV下 2.5 nm (BSE) 3 kV下3.0 nm (SE) 4）环境真空 (ESEM) 30 kV下1.4 nm (SE)

主要功能：

Quanta 450FEG应用于各种各样材料的宏观、微观结构和微区成份表征。可得到样品表面像和微区成份分布图，成为失效分析的主要研究手段。

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