典型用户

溅射台

甲烷/非甲烷烃检测仪品牌：MRC 型号：MRC Eclipse Sputter

仪器名称：

溅射台

英文名称：

Eclipse Mark II

所属分类：

工艺试验仪器 > 电子工艺实验设备 > 半导体集成电路工艺实验设备

学科领域：

电子与通信技术

主要技术指标：

无

主要功能：

R-Etc-uniformit-1sigma-<10%Etc-rat-(A/min-：>10/mi-fo-Therma-SiO-Mechanica-partical-(>0.6um-<80D-bia-(V<60-Fil-Thickness-8000+/-800-Shee-Resistance-38.5+/-10m&Omega-/-Depositio-uniformity-<5-(1sigma-Stress-<4E-Reflectivit>210%Mechanica-particl<20Fil-part

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贵州中科汉天下电子有限公司拥有等离子增强型化学气相沉积系统、溅射台、紫外线光刻胶固胶机、微波等离子体去胶机、电感耦合等离子体刻蚀机、电子束蒸发台、匀胶显影机等科研仪器。

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