典型用户

扫描电子显微镜

透射电子显微镜（透射电镜、TEM）型号：MERLIN Compact

仪器名称：

扫描电子显微镜

英文名称：

scanning electron microscope

所属分类：

分析仪器 > 电子光学仪器 > 透射电镜

学科领域：

生物学

主要技术指标：

分辨率SUPRA™ 40/40VP 1.3 nm @ 15 kV2.1 nm @ 1 kV5.0 nm @ 0.1 kV2.0 nm @ 30 kV（VP模式）分辨率SUPRA™ 55/55 VP 及 60/60 VP 1.0 nm @ 15 kV1.7 nm @ 1 kV4.0 nm @ 0.1 kV2.0 nm @ 30 kV（VP模式）加速电压 0.1 - 30 kV束流 4 pA - 10 nA（可选配20 nA）放大倍数 12 - 900,000x电子枪热场发射型VP真空度 2 - 133 Pa标准探测器 In-lens二次电子探测器与样品室内ET探测器VP型号采用VPSE探测器图象处理 7种积分和平均模式系统控制基于Windows®XP的SmartSEM™

主要功能：

SUPRA™系列产品配备有经过改进的第三代GEMINI®镜筒、概念新颖的样品台、智能化硬件控制板和新型高效率的透镜内二次电子探测器。 SUPRA™系列场发射扫描电子显微镜是卡尔蔡司半导体事业部的纳米技术系统部向市场推出的功能最多的场发射扫描电子显微镜。

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