典型用户

光学3D表面轮廓仪

其它测量/计量仪器品牌：中图仪器型号：SuperView W1

仪器名称：

光学3D表面轮廓仪

英文名称：

Optical 3D surface profilometer

所属分类：

计量仪器 > 光学计量仪器 > 其他

学科领域：

机械工程

主要技术指标：

1.光源：白光LED； 2.影像系统：1024*1024pixel； 3.物镜塔台：3孔； 4.XY平台：尺寸320*200mm，行程140*100mm，手动电动兼容，闭环反馈控制； 5.倾斜调整：±4.5°手动； 6.Z向分辨率：0.1nm； 7.Z向行程：100mm，电动，闭环反馈控制； 8.Z向扫描范围：10mm； 9.粗糙度RMS重复性：0.005nm； 10.台阶高精度：0.75%，重复性 0.1% 1σ； 11.可测样品反射率：0.5%~100%。

主要功能：

SuperView W1光学3D表面轮廓仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。

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北京市科研单位

国家康复辅具研究中心拥有可穿戴式三维运动捕捉分析系统、软性材料加工设备（立式加工中心）、慢走丝线切割、中波制冷红外显微测温系统、生物力学试验机、车削中心、立式加工中心、近红外光学摄像系统、等离子体发射光谱仪、轮椅车装配设备等科研仪器。

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