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高性能双束聚焦离子束显微镜

聚焦离子束显微镜 品牌:FEI 型号:Helios 660

仪器名称:
高性能双束聚焦离子束显微镜

英文名称:
NanoLab DualBeam FIB

所属分类:
分析仪器 > 电子光学仪器 > 其他

学科领域:
材料科学

主要技术指标:
Extreme high resolution (XHR) with sub-nanometer resolution from 500 V to 30 kV

主要功能:
TEM样品制备及集成电路截面分析

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闳康技术检测(上海)有限公司拥有三维数位显微镜、热发射显微镜、全自动抗静电抗拴锁试验设备、扫描超声波显微镜、二次离子质谱仪、IC芯片线路缺陷检测仪、高阶埃克斯光检测系统、微光显微镜、高性能双束聚焦离子束显微镜、高阶扫描超声波显微镜等科研仪器。

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