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X射线光电子能谱仪

X射线能谱仪(EDS) 品牌：飞世尔科技型号：ESCALAB XI+（Thermo Scientific）

仪器名称：

X射线光电子能谱仪

英文名称：

所属分类：

分析仪器 > X射线仪器 > X射线能谱仪

学科领域：

材料科学

主要技术指标：

1. 真空度：分析室真空度优于5.0×10-10mbar；样品预处理室真空度应优于7.0×10-9mbar； 2. 微聚焦单色化Al Kα X射线源；束斑尺寸范围：20μm-200μm之间且连续可调，调节步长应不大于10μm； 3. 最佳能量分辨率：不大于0.43eV（对Ag3d5/2峰）； 4. 能量扫描范围不低于3000eV，通过能范围应不小于1～400eV，并可连续调节，调节步长不大于1eV 5. 可实现快速平行成像，对锐利刃口样品，线扫描的最佳空间分辨率优于1μm。 6. 电荷中和系统，对PET绝缘样品， O-C=O结构中C1s峰能量分辨(FWHM)优于0.68eV时，C-C结构中C 1s峰的灵敏度优于30,000 cps。

主要功能：

X射线光电子能谱仪(XPS)为当前最重要的表面分析技术。该技术基于光电效应，采用X射线激发被测样品表面纳米尺度内的原子发射光电子，通过系统探测到所发射光电子的动能等信息，进而实现样品表面的元素种类及化合态的定性和定量的分析。XPS分析系统可以扩展多种测试技术，比如紫外光电子能谱(UPS)、离子散射谱（ISS）、无损深度分析REELS反射电子能量损失谱等其它表面分析技术。适于各类具有粉末、薄膜、纤维和块体等不同形态的金属、非金属、半导体、氧化物和化合物、复合材料、纳米材料以及生物材料的表面几个原子层(1~10 nm厚的表面)的化学组成、价态，深度剖析及成像、功函数特性等的分析与表征。