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X射线光电子能谱仪

X荧光光谱、XRF（波长色散型X荧光光谱仪）品牌：RA 型号：Amicus

仪器名称：

X射线光电子能谱仪

英文名称：

XPS

所属分类：

分析仪器 > 电子光学仪器 > 电子能谱仪

学科领域：

化学自然科学相关工程与技术材料科学化学工程

主要技术指标：

1． X 射线：Mg Kα ★1.1 功率：300W 1.2 灵敏度：700,000 cps @ 1.15eV FWHM (Ag 3d5/2) 1.3 能量分辨率：< 0.8ev="" fwhm(mo="" 3d5/2)="" 2．="" 样品控制="" 2.1="" 大小：φ10="" mm×5="" mm(t)="" 2.2="" 数量：10="" 3．="" x="" 光源类型：块状锥形靶="" 3.1="" 靶材：mg/al="" 3.2="" 功率：12="" kv/30ma="" 3.3="" 水冷：阳极靶="" 4．="" 分析器类型：通能：25,="" 75="" 和150="" ev="" 5．="" 探测器类型：通道型（channeltron）检测器="" 6．="" 气体反应池="" ★6.1="" 类型：石英反应釜，具备独立的水冷封套="" 6.2="" 最高温度：1000℃="" 6.3="" 最高压力：30bar="" 7="" 真空系统样品分析室：="" 7.1="" 结构：150l/s涡轮分子泵，50="" l/s涡轮分子泵，60="" l/min机械泵="" 7.2="" 真空度：1="" ×10-6="" pa="">

主要功能：

X射线光电子能谱仪（X-ray Photoelectron Spectroscopy，下称XPS）是广泛应用于材料科学领域的高技术分析仪器，主要用于固体材料的表面（2～3nm深度）元素成分和价态的定性和定量分析。XPS与离子溅射刻蚀相结合，可以用于固体表面元素成分、价态和深度剖析；与离子蒸镀或其他分子束外延技术相结合，可以进行原位样品的制备及分析工作。