典型用户

四管高温扩散炉

氧化扩散设备 品牌:中国电子科技集团第四十八研究所 型号:M511-4W/UM

仪器名称:
四管高温扩散炉

英文名称:

所属分类:
工艺试验仪器 > 电子工艺实验设备 > 电子产品通用工艺实验设备

学科领域:
能源科学技术

主要技术指标:
加热温度范围:25℃---870℃

主要功能:
p型硅片表面扩散磷元素,形成结深0.3-0.5μm的p-n结。

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