扫描电子显微镜
扫描电镜（SEM）
品牌：铂悦仪器
型号：VEGA 3 SBH
仪器名称：
扫描电子显微镜
英文名称：
scanning electron microscope
所属分类：
分析仪器 > 电子光学仪器 > 扫描电镜
学科领域：
物理学 化学
主要技术指标：
1.分辨率:高真空(二次电子)3.0nm at 30kv，8.0nm at 3kv
(背散射电子): 3.5 nm at 30 kV
低真空(低真空二次电子)﹕3.5 nm at 30 kV
2.放大倍数:3 to 1000000×
3.真空系统: 低真空3~2000Pa
4.加速电压 0.2kV to 30kV
5.电子束电流 1pA~2uA
6.样品室内部直径：160mm
7.样品台行程:
3轴马达控制
X=45mm——马达控制
Y=45mm——马达控制
Z=27mm——手动控制
Z''''=6mm——手动控制
R=360°连续马达控制
T=-90°至 +90°手动
最大样品高度36mm.
主要功能：
⑴生物：种子、花粉、细菌……
⑵医学：血球、病毒……
⑶动物：大肠、绒毛、细胞、纤维……
⑷材料[1] ：陶瓷、高分子、粉末、金属、金属夹杂物、环氧树脂……
⑸化学、物理、地质、冶金、矿物、污泥（杆菌） 、机械、电机及导电性样品，如半导体(IC、线宽量测、断面、结构观察……）电子材料等。
扫描电子显微镜在新型陶瓷材料显微分析中的应用
