典型用户

光学轮廓仪

轮廓仪 品牌:MET 型号:NT9100

仪器名称:
光学轮廓仪

英文名称:
Optical profilometer

所属分类:
分析仪器 > 显微镜及图象分析仪器 > 图像分析仪

学科领域:
材料科学

主要技术指标:
“1、噪音:RMS<0.3A(垂直方向,)框架式结构2、Z方向测试范围:0.1nm-10mm3、Z方向分辨率:0.01nmRa,RMS重现性0.004nmss4、样品反光率<1-100%5、垂直方向扫描速度92.5um/s“

主要功能:
三维光学轮廓仪采用白光轴向色差原理(性能优于白光干涉轮廓仪与激光干涉轮廓仪)对样品表面进行快速、重复性高、高分辨率的三维测量,测量范围可从纳米级粗糙度到毫米级的表面形貌,台阶高度,给MEMS、半导体材料、太阳能电池、医疗工程、制药、生物材料,光学元件、陶瓷和先进材料的研发和生产提供了一个精确的、价格合理的计量方案。

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东华大学拥有气质联用仪、光谱椭偏仪、场发射透射电镜、超景深三维显微镜、液质联用仪、立式加工中心、高温凝胶渗透色谱仪、TG-MS热重质谱联用仪器、热重分析仪、全自动比表面与孔隙分析仪等科研仪器。

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