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精密离子减薄仪

离子减薄仪 品牌:AT 型号:695.A

仪器名称:
精密离子减薄仪

英文名称:
Precision ion polishing system

所属分类:
工艺试验仪器 > 加工工艺实验设备 > 机加工工艺实验设备

学科领域:
材料科学 化学工程

主要技术指标:
减薄离子入射角:±10° 离子枪能量:0.1keV-8keV 束直径:350um FWHM at 5keV - 800um FWHM at 5keV for Broad Beam guns 电流密度:10mA/cm2 Peak 数码变焦观测系统 分子泵和无油机械泵两级系统 5 x10-6Torr 基本压强, 工作时8x10-5Torr 无级可变,每分种1到 6转,离子枪固定,样品台旋转

主要功能:
为透射电镜的制样设备。主要针对金属、陶瓷等块体样品和需要包埋的高分子样品。可以通过离子减薄仪将样品局部修剪出100nm的薄区供电镜观察。

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中国科学院大连化学物理研究所拥有球差校正光电子显微镜、近常压PEEM子系统、气质联用仪、台式扫描电子显微镜、原位x-射线衍射系统、同步式热分析仪、场发射电子显微镜、扫描氦离子显微镜、液质联用仪、红外光谱仪等科研仪器。

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