典型用户

扫描电子显微镜

电镜制样设备品牌：日立型号：HITACHI (SU8010)

仪器名称：

扫描电子显微镜

英文名称：

所属分类：

工艺试验仪器 > 电子工艺实验设备 > 其他

学科领域：

工程与技术科学基础学科

主要技术指标：

技术参数 1、电子枪：冷阴极场发射电子源 2、放大倍率：20~2000倍（低倍模式），100~800000倍（高倍模式） 3、加速电压：0.1~ 30kV （0.1kV/步，可变） 4、二次电子分辨率：1.0nm（15kV），1.3nm（1kV，减速模式），2.0nm（1kV，普通模式） 5、样品台 X：0~50mm Y: 0~50mm Z:1.5~30mm T: -5~+70° R:360° 6、最大样品容纳尺寸：100mm 7、能谱仪：有效晶体活区面积：30mm2；分辨率：128eV；检测元素范围：Be4-PU94； 8、镀金机：镀金、镀碳双系统；能容纳样品尺寸：60￠*20（h）

主要功能：

主要功能 1、材料的高分辨形貌分析 2、镀层表面形貌分析和深度检测 3、化学成分像分布，微区化学成分分析显微组织及超微尺寸材料的研究 4、集成电路中的损伤研究，金属和薄膜电阻的导电形式 5、材料的晶体结构、晶体取向分布分析等 6、能谱仪具有点、线、面分析功能，具有相分析、自动颗粒物分析以及形态学分析功能 7、配备真空转移装置，可在不接触空气的环境中更换样品。

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