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全自动感应耦合等离子体蚀刻机

等离子体/化学刻蚀设备品牌：北京创威纳科技有限公司型号：ICP-500

仪器名称：

全自动感应耦合等离子体蚀刻机

英文名称：

Inductive?Coupled Plasma etching processor

所属分类：

工艺试验仪器 > 电子工艺实验设备 > 半导体集成电路工艺实验设备

学科领域：

物理学

主要技术指标：

极限真空：2′10-4Pa；刻蚀均匀性：=<>

主要功能：

主要对半导体等无机和金属薄膜进行微图形刻蚀加工

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北方工业大学拥有精密数控慢走丝线切割机床、太阳能综合测试平台、纳米扫描探针仪、无线工业互联网研究平台、五轴联动加工中心、定模动辊三维辊压成型生产线样机、机电一体化综合实验平台、全自动感应耦合等离子体蚀刻机、大功率直流电源、虚拟装配实验系统等科研仪器。

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