典型用户

聚焦离子束系统

聚焦离子束显微镜 品牌:ICA 型号:SCIOS

仪器名称:
聚焦离子束系统

英文名称:
Focused Ion Beam

所属分类:
分析仪器 > 光谱仪器 > 其他

学科领域:
材料科学

主要技术指标:
加速电压 离子束:500V~30kV,电子束:200V~30kV 离子源种类 液态 Ga 离子源 分辨率 离子束:≤5nm@30kV;电子束≤1.0nm@15kV,≤1.6nm@1kV 探针电流 ≤65nA (FIB);1pA~400nA(SEM)

主要功能:
主要材料的剥离、沉积、注入等加工工艺;除聚焦离子束(FIB)的功能外,兼具扫描电子显微镜(SEM)的成像功能。主要功能:TEM 透射电镜样品制备,SEM 扫描电子显微镜结构分析—可以进行二次电子形貌分析、背散射衬度分析。微纳结构加工:Easylift 纳米操作 手、离子束切割等的配合下,可以进行各种微纳材料的搬运和加工

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