典型用户

四管高温扩散炉

氧化扩散设备品牌：中国电子科技集团公司第四十八研究所型号：M5111-4W/UM

仪器名称：

四管高温扩散炉

英文名称：

所属分类：

工艺试验仪器 > 加工工艺实验设备 > 热处理加工工艺实验设备

学科领域：

其他

主要技术指标：

温度控制范围400~1100℃；恒温区长度及精度≤±1℃/1080mm（801~1100℃）≤±1.5℃/1080mm（400~800℃）

主要功能：

主要用于8英寸硅片以下太阳能器件制造中的扩散、氧化工艺；也可用于半导体器件制造中的扩散、氧化、退火及合金工艺，同时还适用于对其他材料的特殊温度处理。

品牌：北方华创

氧化扩散设备

典型用户

光伏材料与技术国家重点实验室

北京市科研单位

光伏材料与技术国家重点实验室拥有PL测试仪、紫外光试验箱、光谱椭偏仪、印刷机头、CENTROTHERM试验炉、Asm氧化铝镀膜设备、pasan太阳能模拟仪、少子寿命测试仪、水平式离子注入机ipv-2000、高低温老化试验箱等科研仪器。

日本电子

78台仪器 18家供应商

MBH

0台仪器 6家供应商

ERM

0台仪器 6家供应商

基恩士

43台仪器 5家供应商

1台仪器 4家供应商

2台仪器 3家供应商

9台仪器 2家供应商

2台仪器 2家供应商

11台仪器 1家供应商

金顿

10台仪器 1家供应商