典型用户

全自动型感应耦合等离子体刻蚀机

等离子体/化学刻蚀设备品牌：北京创世威纳技术有限公司型号：ICP

仪器名称：

全自动型感应耦合等离子体刻蚀机

英文名称：

Inductively coupled plasma etching machine

所属分类：

工艺试验仪器 > 电子工艺实验设备 > 半导体集成电路工艺实验设备

学科领域：

物理学材料科学

主要技术指标：

样片尺寸：6英寸，刻蚀不均匀性：优于±5%（Φ6英寸范围），刻蚀室尺寸：不小于Φ350，电极尺寸：不小于Φ220mm，深宽比：大于10:1（Si），选择比：大于50:1（光刻胶：Si），衬底加热：tm≤500±5℃，射频电源：频率 13.56MHz，功率500W

主要功能：

主要用于Si、SiO2、Si3N4、石英 / Cr、Al / GaN、GaAs、InP等材料的刻蚀

同类品牌同类仪器推荐

干法刻蚀装置

品牌：爱发科

等离子体/化学刻蚀设备

干法刻蚀设备

品牌：爱发科

等离子体/化学刻蚀设备

NLD干法刻蚀设备

品牌：爱发科

等离子体/化学刻蚀设备

高密度等离子刻蚀装置

品牌：爱发科

等离子体/化学刻蚀设备

刻蚀设备

品牌：爱发科

等离子体/化学刻蚀设备

SENTECH多腔系统包括等离子刻蚀和/或沉积腔

品牌：德国SENTECH

等离子体/化学刻蚀设备

推荐品牌

雅马拓

669台仪器 35家供应商

CIF

113台仪器 6家供应商

典型用户

中央民族大学

北京市高校

中央民族大学拥有液相色谱-高分辨串联质谱联用仪、超高效液相色谱仪、毛细管电泳仪、质谱仪、循环制备液相色谱仪、蛋白质相互作用仪、飞行时间二次离子质谱仪、制备型液相色谱、小动物上转换活体成像系统、超导核磁共振仪等科研仪器。

点击发布采购需求

相关仪器品类

所使用品牌

安捷伦

1531台仪器 242家供应商

岛津

1735台仪器 168家供应商

布鲁克

1383台仪器 78家供应商

奥林巴斯

636台仪器 56家供应商

日立

426台仪器 49家供应商

BD 碧迪

29台仪器 49家供应商

日本电子

78台仪器 18家供应商

伯托

57台仪器 16家供应商

飞世尔科技

63台仪器 11家供应商

爱发科

63台仪器 6家供应商

爱丁堡

32台仪器 5家供应商

尼康

35台仪器 4家供应商

AB

1台仪器 4家供应商

日本分光

41台仪器 3家供应商

CK

31台仪器 2家供应商

博光

13台仪器 2家供应商

FIS

4台仪器 2家供应商

北方

18台仪器 1家供应商

IO

11台仪器 1家供应商

TE

11台仪器 1家供应商

SM

9台仪器 1家供应商

BI

6台仪器 1家供应商

ICA

6台仪器 1家供应商

KA

6台仪器 1家供应商

Kreon科瑞朗

3台仪器 1家供应商

海蓝

1台仪器 1家供应商

CS

0台仪器 1家供应商