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中国科学院上海硅酸盐研究所拥有光电化学测试系统、台式扫描电子显微镜、热分析质谱仪、zygo激光干涉仪、光谱椭偏仪、全自动比表面和孔径分析仪、18kW转靶X射线衍射仪、数控龙门加工中心、超景深三维显微镜、显微共焦拉曼光谱仪等科研仪器。
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