典型用户

高真空退火炉

氧化扩散设备 品牌:青岛精诚华旗微电子设备有限公司 型号:VTO-300

仪器名称:
高真空退火炉

英文名称:

所属分类:
工艺试验仪器 > 加工工艺实验设备 > 热处理加工工艺实验设备

学科领域:
其他

主要技术指标:
均温区:500mm;压升率:≤0.35Pa/h;极限真空6.0×10-4Pa,最高温度1200℃;800℃、1050℃下,单点温度稳定性:±1℃,均温区均匀度±1℃;1~100Pa准确空压。

主要功能:
主要用于材料的不同温度下的烧结等热处理工艺。

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典型用户

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