典型用户

扫描电镜

扫描电镜（SEM）品牌：日本型号：S3400N

仪器名称：

扫描电镜

英文名称：

所属分类：

分析仪器 > 电子光学仪器 > 扫描电镜

学科领域：

力学物理学天文学

主要技术指标：

SE分辨率 3.0nm (30kV)，高真空模式 10nm (3kV), 高真空模式 BSE分辨率 4.0nm (30kV)，低真空模式放大倍率 x5 ~ x300,000 加速电压 0.3 ~ 30 kV 低真空范围 6 ~ 270 Pa 最大样品尺寸直径200mm 样品台 I型 II型 X 0 ~ 80mm 0 ~ 100mm Y 0 ~ 40mm 0 ~ 50mm Z 5 ~ 35mm 5 ~ 65mm R 360º 360º T -20º~ +90º -20º ~ +90º 最大样品高度 35mm (WD=10mm) 80mm (WD=10mm) 驱动类型手动五轴马达驱动灯丝预对中钨灯丝物镜光栏可移动式4孔物镜光栏枪偏压固定比例偏压、手动偏压和自动4偏检测器二次电子检测器高灵敏度半导体背散射电子检测器分析位置 WD=10mm, TOA=35o 控制鼠标、键盘，手动旋钮自动调校自动灯丝饱和、自动4偏压、自动枪对中、自动束流设定、自动合轴、自动聚焦消像散、自动亮度对比度

主要功能：

主要用于观察纳米粒子的形貌、在基体中的分散情况以及粒径的测量等。SEM通常只能提供微米或亚微米的形貌信息。当高能入射电子束轰击样品表面时，由于入射电子束与样品间的相互作用，将有99% 以上的入射电子的能量转变成样品热能，约1%的入射电子的能量将从样品中激发出各种有用的信息，包括二次电子、透射电子、俄歇电子、X射线等。不同的信息，反映样品本身不同的物理、化学性质。扫描电镜的功能就是根据不同信息产生的机理，采用不同的信息检测器，以实现选择检测扫描电镜的图像。