扫描电子显微镜
扫描电镜(SEM)
品牌:日立
型号:SU3500,3kv,7nm
仪器名称:
扫描电子显微镜
英文名称:
所属分类:
分析仪器 > 电子光学仪器 > 扫描电镜
学科领域:
化学
主要技术指标:
30KV加速电压二次电子分辨率:3.0nm
3KV加速电压二次电子分辨率:7.0nm
30KV加速电压背散射电子分辨率:4.0nm(低真空模式)
5KV加速电压背散射电子分辨率:10.0nm
能谱分析位置:TOA=35°;WD=10mm;
能量分辨率(MnKa处):探头优于126eV
轻元素分辨率(C元素):优于52eV
检测元素范围:Be4-Pu94
有效晶体活区面积:≥10mm2
主要功能:
二次电子像,背散射电子像,两种图像混合像;可变压力模式;EDS和XRF分析