典型用户

聚集离子束场发射扫描电子显微镜

扫描电镜（SEM）品牌：泰斯肯型号：GAIA 3 GMH

仪器名称：

聚集离子束场发射扫描电子显微镜

英文名称：

所属分类：

分析仪器 > 电子光学仪器 > 扫描电镜

学科领域：

材料科学

主要技术指标：

1nm扫描

主要功能：

二次电子分辨率：≤0.7nm@15kV（In-Beam SE），≤1.0nm @1kV（减速模式）背散射电子分辨率：≤2.0nm@30kV（In-Chamber BSE）， ≤1.6nm@15kV（In-Beam LE-BSE）放大倍数@ 30kV： 4× - 1,000,000 × 离子光学：离子束镜筒：Cobra 分辨率： < 2.5 nm @ 30 kV (SEM-FIB的重合点) 放大倍数：最小为150 × @ 10 kV在重合点（相应的视场宽度为1 mm），最大为1,000,000 × 加速电压：0.5 - 30 kV 离子源：

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