典型用户

场发射扫描电子显微镜

扫描电镜（SEM）品牌：日立型号：日立/SU8010,日立/SU8010

仪器名称：

场发射扫描电子显微镜

英文名称：

所属分类：

分析仪器 > 电子光学仪器 > 扫描电镜

学科领域：

化学材料科学冶金工程技术

主要技术指标：

1.电子枪：场发射电子枪，电子源大小＜5nm，能量范围＜0.3eV。 2.分辨率：≤1.0nm (15kV,工作距离≥4mm)；≤1.3nm (1KV)。 3.加速电压：0.1～30kV。 4.五轴样品台移动范围：X：0～50mm；Y：0～50mm；Z：1.5～30.0mm；T：-5～70°；R：360°。 5.样品台驱动：三轴马达驱动。 6.图像储存：最高分辨率≥5120×3480像素。 7.电子图像移动：≥±12μm (WD=8mm)。 8.电制冷X射线能谱仪，分辨率：≤ 133eV；有效面积：≥30mm2；探测器类型：SDD；具有点分析、线分析、面分析功能

主要功能：

进样过程中可通过预抽室交换样品，预抽室端面透明，可观察到样品交换过程，测试时可同时显示以显示器为准和以底片为准的两种模式的放大倍率，具有高位和低位二次电子探测器，高位探头安装在物镜上方，避免影响物镜成像；通过E×B系统可获取纯的二次电子像或纯的被散射电子像或两种信号的任意比例混合像。

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