场发射扫描电子显微镜/能谱仪
扫描电镜（SEM）
品牌：CS
型号：Quanta 400 FEG；CENESIS XM2 SEM EDS
仪器名称：
场发射扫描电子显微镜/能谱仪
英文名称：
Scanning Electron Microscope/energy spectrometer
所属分类：
分析仪器 > 电子光学仪器 > 扫描电镜
学科领域：
材料科学
主要技术指标：
分辨率二次电子(SE)成像：高真空模式：30kV时 1.2 nm；1kV时 3.0nm 低真空模式：30kV时 1.5 nm；3kV时 3.0nm ESEM？环境真空模式: 30kV时 1.5 nm背散射电子(BSE)成像：30kV时 2.5 nm放大倍数高真空模式: 12x - 1,000,000x低真空模式: 12x - 1,000,000x
主要功能：
以很高的分辨率对物质微观形貌进行显微成像分析；测定物质结构；在物质微观形貌及结构进行分析的同时，对物质成分进行微区分析，微区尺寸可为纳米尺度。
