晶圆测试探针台

仪器名称：

晶圆测试探针台

英文名称：

所属分类：

电子测量仪器 > 大规模集成电路测试仪器 > 其他

学科领域：

生物学

主要技术指标：

适用晶圆尺寸：8英寸、12英寸 温度范围：-40℃ ～ 150℃

主要功能：

以提供slot 自动比对功能，和PMI(prober mark inspection)针痕自动检测、自动机械走步