自动探针台

仪器名称：

自动探针台

英文名称：

Auto Probing Machine

所属分类：

电子测量仪器 > 大规模集成电路测试仪器 > 其他

学科领域：

电子与通信技术

主要技术指标：

适用晶圆尺寸：8英寸/及以下尺寸 温度范围：常温 ～ 150℃ ，支持200um薄片的测试。

主要功能：

以提供slot 自动比对功能，和PMI(prober mark inspection)针痕自动检测、自动机械走步