MEMS晶圆测试系统(探针台)
探针台
品牌:LI
型号:Solidus STI3000
仪器名称:
MEMS晶圆测试系统(探针台)
英文名称:
Probe Station
所属分类:
电子测量仪器 > 其他 > 其他
学科领域:
材料科学
主要技术指标:
STI3000 High Performance Wafer Probe Test SystemElectroglass Wafer Handler Model 2001STI Custom Production Test CodeSTI System IntegrationDevice Specific Probe Cards (PCB only)
主要功能:
进行加速度、陀螺仪、麦克风、气压等电容式传感器的晶圆级测试测试静态和动态参数