典型用户

低温真空探针台

探针台品牌：CS 型号：*

仪器名称：

低温真空探针台

英文名称：

Cryogenic Probe Station

所属分类：

分析仪器 > 其他 > 其他

学科领域：

材料科学

主要技术指标：

温度控制部分技术指标如下：温度范围：80K-475K（采用液氮制冷），4K-475K（采用液氦制冷）。稳定性：优于±100mK（采用液氮）。循环时间：小于2.5小时。电学测试部分技术指标如下：系统配有4个直流探针臂，用来做电学实验，可进行DC到50MHz的电学测量（直流探针支持探针臂升级为DC-1GHz测量）。探针臂的X、Y、Z方向行程分别为：51mm、25mm、17mm。直流探针臂在加装直流探针后，整体系统工作漏电流小于100fA@1V（配合吉时利的带前置放大器的4200或同等仪表使用）。样品装载部分显微镜系统光学分辨率优于4μm。光学显微镜系统：包含显微镜，CCD相机，监视器及两个照明灯，分别为环形光和轴型光。配样品架清洗用超纯水系统电阻率为18.2 MΩ.cm@25℃的超纯水，系统内置高精度电阻率检测仪，电极常数为0.01cm-1。真空部分传输线，长度2米，搭配专用真空泵一台。真空泵：涡旋式前级干泵抽速大于15m3/h，分子泵对氮气抽速不小于600l/s。

主要功能：

低温探针台电学测试系统主要用来提供一个低温、真空的环境，对器件进行非破坏性的电学测试。它可以对材料或器件的电学特性测量、光学测量以及微波测量提供一个测试平台。低维中心计划购置该系统已用于表征有机半导体，有机无机杂化半导体，以及基于该类材料光电子器件的电学性能。

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