典型用户

探针台

探针台品牌：奕叶型号：CG-196-200

仪器名称：

探针台

英文名称：

所属分类：

工艺试验仪器 > 电子工艺实验设备 > 其他

学科领域：

信息科学与系统科学电子与通信技术计算机科学技术

主要技术指标：

至少4根探针，可以测试四端器件。可以测试两寸晶圆。温度范围80K-400K，稳定度±1℃。真空度<5x 10-6mbar。="" ±5v时，80k到室温下系统漏电应小于100="" fa。="" 显微镜放大倍数可达100倍。="" 能够进行测试功能扩展，如光电测试。="">

主要功能：

低温真空探针台配合半导体特性参数分析仪使用，用于极高精度的电学测试，具有温度调节功能，可以测试不同温度下器件的电学特性，能更好地研究接触势垒、pn结势垒以及温度对电学特性的影响等；同时可以提供真空的环境，有助于器件本征特性的研究与性能的提升；另外通过功能扩展，可进行其他应用的研究，例如连接光源系统进行光电探测研究。

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清华大学深圳研究生院拥有扫描电化学显微镜、激光扫描共聚焦显微镜、动静态材料试验机、立式加工中心、基质辅助激光解析\\电离串联飞行时间质谱仪、高性能计算系统、红外光谱仪、光纤光谱分析系统、二维色谱（超高效液相色谱仪）、全自动微生物鉴定系统等科研仪器。

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