典型用户

离子束发射器

其它通用分析品牌：中科院合肥物质科学院型号：低能离子束装置

仪器名称：

离子束发射器

英文名称：

Ion Beam

所属分类：

工艺试验仪器 > 电子工艺实验设备 > 其他

学科领域：

农学

主要技术指标：

1）离子能量：0～35keV2）离子束流：0～15mA3）离子束均匀度：≥90％4)离子束直径：＞180mm5)主靶室容积：Φ600mm×600mm（暂定尺寸）6)小靶室容积：Φ128mm×235mm（暂定尺寸）7)控制系统：PLC，人机界面触摸屏

主要功能：

低能离子注入机能提供N、Ar等多种离子束流，可以准确定量地向样品内注入离子，主要用于诱变育种。

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ALA

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