典型用户

垂直连续式高真空溅镀生产线

其它通用分析品牌：台湾富临科技工程股份有限公司型号：FSE-ILSV-RD-450

仪器名称：

垂直连续式高真空溅镀生产线

英文名称：

所属分类：

工艺试验仪器 > 其他 > 其他

学科领域：

其他

主要技术指标：

基片最大尺寸：356mm × 406mm 溅射室极限真空：<1×10-6Torr within 8hrs 排气性能： <9×10-5Torr within 30min 基片加热：最高温度400℃，均匀性±5%以内溅射阴极：平面阴极3条 500mm(H)×125mm(L)×9mm(T) 旋转阴极2对 500mm(H)×133mm(ID) 溅射电源：直流电源（10kW），中频电源（10kW）

主要功能：

低辐射膜、集热膜、消影膜、透明导电膜、减反膜等各种功能性薄膜材料的研究和开发；薄膜太阳能电池中各种功能薄膜的开发，包括背电极简化工艺、窗口层与缓冲层的界面优化、预置层结构及组分的研究等。

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浮法玻璃新技术国家重点实验室拥有扫描电镜、高温旋转粘度计、紫外-可见-近红外分光度计、玻璃融化过程的高温观察系统、三室复合薄膜沉积系统、X射线荧光光谱仪、拉曼光谱仪、垂直连续式高真空溅镀生产线、综合热分析仪、气泡仪等科研仪器。

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