典型用户

垂直连续式高真空溅镀生产线

其它通用分析品牌：台湾富临科技工程股份有限公司型号：FSE-ILSV-RD-450

仪器名称：

垂直连续式高真空溅镀生产线

英文名称：

所属分类：

工艺试验仪器 > 其他 > 其他

学科领域：

材料科学

主要技术指标：

基片最大尺寸：356mm × 406mm 溅射室极限真空：<1×10-6torr within="" 8hrs="" 排气性能：=""><9×10-5torr within="" 30min="" 基片加热：最高温度400℃，均匀性±5%以内="" 溅射阴极：平面阴极3条="" 500mm(h)×125mm(l)×9mm(t)="" 旋转阴极2对="" 500mm(h)×133mm(id)="">

主要功能：

低辐射膜、集热膜、消影膜、透明导电膜、减反膜等各种功能性薄膜材料的研究和开发；薄膜太阳能电池中各种功能薄膜的开发，包括背电极简化工艺、窗口层与缓冲层的界面优化、预置层结构及组分的研究等。

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中建材蚌埠玻璃工业设计研究院有限公司/洛阳浮法玻璃集团有限责任公司

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中建材蚌埠玻璃工业设计研究院有限公司/洛阳浮法玻璃集团有限责任公司拥有三靶共溅射磁控溅射镀膜机、气泡仪、光学轮廓仪、平板粘度计、ORTON粘度计、垂直连续式高真空溅镀生产线、等离子体增强原子层沉积系统、ANSYS高级流场分析模块、三室复合薄膜沉积系统、拉曼光谱仪等科研仪器。

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