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仪器信息网 典型用户 中建材蚌埠玻璃工业设计研究院有限公司/洛阳浮法玻璃集团有限责任公司 三室复合薄膜沉积系统

三室复合薄膜沉积系统

化学气相沉积（CVD） 品牌：沈阳科学仪器研制中心股份有限公司 型号：无

仪器名称：
三室复合薄膜沉积系统

英文名称：
无

所属分类：
工艺试验仪器 > 其他 > 其他

学科领域：
材料科学 能源科学技术

主要技术指标：
1、真空室极限真空1X10-5Pa; 2蒸发室极限真空1X10-5Pa； 3靶材尺寸直径60mm。

主要功能：
使用磁控溅射法制备各种薄膜

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中建材蚌埠玻璃工业设计研究院有限公司/洛阳浮法玻璃集团有限责任公司

 安徽省 企业

中建材蚌埠玻璃工业设计研究院有限公司/洛阳浮法玻璃集团有限责任公司拥有三靶共溅射磁控溅射镀膜机、气泡仪、光学轮廓仪、平板粘度计、ORTON粘度计、垂直连续式高真空溅镀生产线、等离子体增强原子层沉积系统、ANSYS高级流场分析模块、三室复合薄膜沉积系统、拉曼光谱仪等科研仪器。

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