典型用户

超高真空双/单室球形脉冲激光淀积设备

激光脉冲沉积(PLD) 品牌：真空型号：PLD450A/B

仪器名称：

超高真空双/单室球形脉冲激光淀积设备

英文名称：

所属分类：

物理性能测试仪器 > 光电测量仪器 > 其他

学科领域：

力学物理学天文学生物学

主要技术指标：

衬底尺寸1", 2" 靶材数量1-4 真空度< 5*10-9="" torr="" pc控制系统="" 加热器温度400℃-1000℃（由工艺决定）="" 预真空式="" apc自动压力控制系统="" 可选scanning-laser-beam="" delivery="" 扫描激光束可选="" 可选离子源辅助溅射可选="" 可选反射高能电子衍射（reflection="" high-energy="" electron="" diffraction）="" 可选wafer自动传输="" 可选shutter="">

主要功能：

借着连续溶化混杂的靶，可以十分容易地制造不同物质的多层膜；透过控制脉冲的数量，可以精密调节薄膜厚度至单原子层；最重要的特色是沉积膜保留了靶的化学计量成分。高温超导、记忆性材料、氧化物半导体材料、铁磁性材料三五族材料

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扬州大学拥有气质联用仪、分析型多功能离子色谱、微机控制电液压伺服压剪试验机、三重四级杆气质联用仪、液质联用仪、荧光定时定量PCR、等离子体发射光谱仪、数码液相色谱仪、超高分辨率激光共聚焦显微镜、自动化电泳系统等科研仪器。

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