扫描电镜
扫描探针显微镜SPM（原子力显微镜AFM、扫描隧道显微镜STM）
品牌：美国FEI
型号：NOVA NANO SEM-450
仪器名称：
扫描电镜
英文名称：
Scanning Electron Microscope
所属分类：
分析仪器 > 显微镜及图象分析仪器 > 扫描探针显微镜
学科领域：
物理学 化学 能源科学技术
主要技术指标：
1 电子光学系统 1.1 分辨率： 1.1.1 高真空模式： 二次电子（SE）像：15 kV时1.0 nm (工作距离必须 4mm) 二次电子（SE）像：1 k V时1.4 nm (不采用减速模式情况下) 背散射电子像：100v时3.5nm 1.1.2 低真空模式：10 kV时1.5 nm；3 kV时1.8 nm 1.2 放大倍率范围不低于：50 ～ 900,000倍，据加速电压和工作距离的改变，放大倍数自动校准。 2 样平台 连续旋转：R=360；倾斜角T：范围不小于－15º～70º；重复精度< 2.0um="" (0°倾角)="" 3="" 探测器="" 超高分辨二次电子探测器；超高分辨背散射电子探头="" 4="" 电制冷能谱仪="" 4.1="" 分析元素范围：be4～u92；="" 4.2="" 能量分辨率(mn-ka)：优于126ev(std)严格依照iso15632国际标准测量；="" 4.3="" 在0～200kcps范围内的分辨率稳定性：＞90%；="" 4.4="" 能量分辨率和死时间实时显示；="" 4.5="" 可处理最大计数率:1,600,000cps，最大输出计数率＞850,000cps；="" 4.6="">
主要功能：
做各种固态样品表面形貌的二次电子象、反射电子象观察及图像处理。 具有高性能x射线能谱仪，能同时进行样品表层的微区点线面元素的定性、半定量及定量分析，具有形貌、化学组分综合分析能力。
