典型用户

等离子体刻蚀机

等离子体/化学刻蚀设备型号：无

仪器名称：

等离子体刻蚀机

英文名称：

所属分类：

其他仪器 > 其他 > 其他

学科领域：

化学工程

主要技术指标：

30 kHz和13.56 MHz射频电源

主要功能：

进行干式蚀刻工艺的设备包括反应室、电源、真空部分

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