光学表面轮廓仪
轮廓仪
品牌:BI
型号:Xi-100 Plus optical profiler
仪器名称:
光学表面轮廓仪
英文名称:
Optical Surface Profilometer
所属分类:
分析仪器 > 电子光学仪器 > 其他
学科领域:
材料科学 电子与通信技术
主要技术指标:
1. 垂直测量范围:0.1nm 至 1mm2. 垂直分辨率:<0.1nm ra3.="" rms重现性:0.01nm4.="" 垂直扫描速度:可达14.4微米/秒5.="" 横向分辨率:0.08="">0.1nm>
主要功能:
光学轮廓仪提供精确、非接触表面测量,可运用于微机械系统、薄膜、光学器件、陶瓷、高级材料等领域。