典型用户

光谱椭偏仪(SE-850)

椭偏仪品牌：TE 型号：SE 850 DUV

仪器名称：

光谱椭偏仪(SE-850)

英文名称：

Spectroscopic Ellipsometer

所属分类：

分析仪器 > 光谱仪器 > 其他

学科领域：

物理学化学

主要技术指标：

紫外光谱扩展选项，280 - 850 nm 　　·近红外光谱扩展选项，1700 - 2300 nm 　　·计算机控制高性能消色差补偿器　　·计算机控制起偏器　　·计算机控制自动角度计, 40º-90º, 精度0.01º 　　·手动x-y载物台，150 mm行程　　·电机驱动x-y载物台，行程50 mm - 200 mm, SENTECH地貌图扫描软件　　·透射测量样品夹具　　·摄象头选项，用于样品对准和表面检测　　·液体膜测量单元　　·反射式膜厚仪FTPadvanced, 光斑直径80微米　　·微细光斑选项　　·自动对焦选项，结合地貌图扫描选项　　·SENTECH标准样片　　·附加许可，使SpectrRay II软件可以用于多台电脑

主要功能：

光谱椭偏仪是基于椭圆偏振光原理，使用偏振光的非接触光学反射测量仪器。入射光经过起偏器变为线形偏振光、再经补偿器后变为圆偏振光；该偏振光经样品表面反射后，其偏振角度会因样品表面薄膜而发生相应变化，通过分析器、检测器，即可测出偏振角度的变化；再通过软件的建模、模拟、拟合功能，计算出样品的膜厚d、折射率n

典型用户

国家纳米科学中心

北京市科研单位

国家纳米科学中心拥有振动圆二色光谱仪(Biotools)、120KV透射电子显微镜(Ht-7700)、硅刻蚀高密度等离子体刻蚀机(ICPRIE-180)、捏合机、高精度3D打印装置、场发射透射电子显微镜(F-20)、扫描探针显微镜（东楼-Multimode)、电子束蒸发镀膜系统(O-50B)、原子力显微镜、研究级倒置显微镜等科研仪器。

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