典型用户

脉冲激光沉积系统

激光脉冲沉积(PLD) 品牌:铠柏 型号:PLD-18

仪器名称:
脉冲激光沉积系统

英文名称:
Pulsed laser deposition system

所属分类:
工艺试验仪器 > 电子工艺实验设备 > 电真空器件工艺实验设备

学科领域:
物理学 材料科学

主要技术指标:
沉积室为直径18英寸的316不锈钢球形腔体,镜面抛光,本底真空优于5*10-9毫巴。预真空室为316不锈钢柱形腔体,镜面抛光,本底真空优于5*10-8毫巴。样品台系统包含一个X/Y/Z操控平台,一套2"SiC加热器,一套激光加热器。 SiC加热器能在一个大气压空气中在850℃以上长期工作,配备K型热电偶。激光加热器要求开始加热30s内温度大于1000℃,能在一个大气压氧气中长期工作。配备3个2"靶材,配有靶材挡板,每个靶材均可实现自转、公转和摆动。系统应配备2套Pfeiffer分子泵及其前级泵,2套Inf

主要功能:
其工作原理是将激光源放置在真空室外部,以脉冲激光照射使待镀材料表面使其瞬间蒸发,并定向沉积到衬底上。因此PLD系统是制备高熔点、多组元氧化物薄膜的首选仪器。

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典型用户

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苏州科技大学拥有台式扫描电子显微镜、激光分子束外延系统、锥形量热仪、可控强度调制光电化学谱仪、毛细管电泳仪、快速溶剂萃取仪、多功能材料试验系统、精雕机(磨削加工机)、磷光寿命光谱仪、色谱质谱联用仪等科研仪器。

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