典型用户

等离子体化学气相沉积系统

等离子体/化学刻蚀设备品牌：SUN 型号：Picosun R-200 Advanced

仪器名称：

等离子体化学气相沉积系统

英文名称：

-

所属分类：

分析仪器 > 电子光学仪器 > 其他

学科领域：

物理学

主要技术指标：

具微波等离子体功能，系统真空度:5*10^-8Torr，远程等离子体；兼容热ALD；配置不少于6条完全独立的前驱体源管路，分别对应反应腔体上完全独立的6个前驱体源入口，不能有任何共用管路；不少于2路独立的等离子体工艺气体管路（不包括载气管路），包括独立的阀门和质量流量计；采用电感耦合远程等离子体源。等离子体发生器功率在100-3000W范围可调，频率在1.7-3MHz范围内可调；8英寸基片；加热源系统包含源瓶，通入氮气等载气导出前驱体至反应腔，容积不小于50 ml，加热温度不低于200℃，控制精度±1℃，配备温控管路、脉冲阀门与热绝缘器，采用工业标准化的VCR真空密封接头；基片温度500℃；兼容粉末样品

主要功能：

具微波等离子体功能，系统真空度:5*10^-8Torr，远程等离子体；兼容热ALD；配置不少于6条完全独立的前驱体源管路，分别对应反应腔体上完全独立的6个前驱体源入口，不能有任何共用管路；不少于2路独立的等离子体工艺气体管路（不包括载气管路），包括独立的阀门和质量流量计；采用电感耦合远程等离子体源。等离子体发生器功率在100-3000W范围可调，频率在1.7-3MHz范围内可调；

推荐品牌

雅马拓

669台仪器 35家供应商

CIF

113台仪器 6家供应商

典型用户

电子科技大学

四川省高校

电子科技大学拥有台式扫描电子显微镜、铂金坩埚、荧光酶联免疫斑点分析仪、大工作比回旋管调制器、电子枪综合测试平台、集成式太赫兹透射/反射时域谱测试系统、等离子体微波管试验系统、S试件曲面粗糙度测试平台、LB镀膜机、影像导航经颅磁刺激系统等科研仪器。

点击发布采购需求

相关仪器品类

所使用品牌

布鲁克

1383台仪器 78家供应商

徕卡

1011台仪器 64家供应商

蔡司

296台仪器 22家供应商

罗氏

21台仪器 20家供应商

RD

0台仪器 14家供应商

SP

65台仪器 10家供应商

MP

23台仪器 9家供应商

雷尼绍

83台仪器 7家供应商

ISS

24台仪器 5家供应商

麦格

4台仪器 5家供应商

ATi

77台仪器 4家供应商

瓦茨

68台仪器 4家供应商

爱斯特

53台仪器 4家供应商

AB

1台仪器 4家供应商

光明

9台仪器 3家供应商

EA

6台仪器 3家供应商

科仪

2台仪器 3家供应商

KSV

26台仪器 2家供应商

EXFO

13台仪器 2家供应商

科电

7台仪器 2家供应商

理研

5台仪器 2家供应商

IBA

5台仪器 2家供应商

SI

2台仪器 2家供应商

TE

11台仪器 1家供应商

高科

8台仪器 1家供应商

光科

7台仪器 1家供应商

BI

6台仪器 1家供应商

三乐

5台仪器 1家供应商

天钊

4台仪器 1家供应商

DE

3台仪器 1家供应商

Durham

2台仪器 1家供应商

思看科技

2台仪器 1家供应商

SE

1台仪器 1家供应商

AW

1台仪器 1家供应商

OM

1台仪器 1家供应商

德国

0台仪器 1家供应商

NB

0台仪器 1家供应商

CS

0台仪器 1家供应商

七星华创

0台仪器 1家供应商

RSA

0台仪器 1家供应商

真空

0台仪器 1家供应商

FAR

0台仪器 1家供应商

四方

7台仪器 0家供应商

GE

3台仪器 0家供应商

明太

1台仪器 0家供应商