光学轮廓仪
轮廓仪
品牌:ZETA仪器(美国)有限公司
型号:Zeta—20
仪器名称:
光学轮廓仪
英文名称:
Optical profiler
所属分类:
分析仪器 > 光谱仪器 > 光谱成像仪
学科领域:
其他
主要技术指标:
数据获取: 小于10秒(200步扫描)
3D扫描: 每秒大于30步
像素分辨率: 0.031μm (1X耦合镜、150X物镜)
Z轴分辨率: 0.002 μm (压电陶瓷载台)
重复性(1σ): 0.006 μm (压电陶瓷载台和防震桌)
相机选项: 640x480, 1024x768, 1280x960像素
放大倍率: 45000X (光学加数字)
照明: 双重高亮度白光LED
手动载台: 100mm x 100mm XY移动距离
Z轴移动距离:40mm
主要功能:
具有强大的成像测量功能、高度的灵活性以及直观易用的操作界面,几乎可对所有材料和结构的样品进行测量分析。