冷场发射扫描电子显微镜
扫描电镜（SEM）
品牌：日立
型号：SU-8010
仪器名称：
冷场发射扫描电子显微镜
英文名称：
所属分类：
分析仪器 > 电子光学仪器 > 扫描电镜
学科领域：
材料科学 化学工程
主要技术指标：
分辨率： 加速电压15kV 时分辨率1.0nm
加速电压1kV 时分辨率1.3nm
加速电压：0.1 ~ 30kV，0.1kV/步
放大倍率：放大倍率：×20 ~ ×800,000
电子光学系统: 电子枪：冷场发射电子枪
最大电子束流度：不低于2nA
透镜系统：3级电磁式
物镜光阑： 4孔可调式（直径30、50、50、100μm）,
样品室和样品台：样品台驱动：5轴马达驱动
移动范围：X：0~50mm；Y：0~50mm；Z：1.5~30mm；
T：-5~70°；R：360°
最大样品尺寸：100mm
探测器: 二次电子探测器：高位和低位
高位探头可选择接受二次电子像或背散射像，并有100多种比率混合方式。
扫描速度：快扫描 等于或优于25桢/秒
慢扫描 全屏模式下1、4、20、40、80桢/秒，可选
主要功能：
冷场发射扫描电子显微镜主要用于材料表面的微观形貌的高分辨观察，可配备X射线能谱仪等附件，可同时进行微区的成分分析
微细结构材料的形貌及尺寸观察、组成的定性测量。生物样品、环境样品、催化剂、吸附剂、陶瓷材料、金属材料、高分子聚合物材料等的形貌观察、微区分析和组成定性测量
