典型用户

光电子能谱仪

X射线能谱仪(EDS) 品牌：日本慎空型号：PH1500C

仪器名称：

光电子能谱仪

英文名称：

-X-ray photoelectron spectrascopy

所属分类：

分析仪器 > X射线仪器 > X射线能谱仪

学科领域：

材料科学

主要技术指标：

1.能够以10μm的空间分辨率对半导体、金属和树脂等各种材料进行定点表面分析。2.通过Ar离子枪，可以实现表面深度超过10 nm的元素组成和化学结合状态进行分析。3.可以分析元素组成随扫描深度的变化关系。4.最低能量扫描进度可以达到0.025 eV，元素含量分析最低值为千分之五。

主要功能：

分析样品近表面（5nm）和本体的元素组成，化学态。对多种价态元素，可以自动分峰拟合，并给出不同价态之间的原子比。可进行最小10μm范围的微区分析。

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