扫描式电子显微镜
扫描电镜(SEM)
品牌:日立
型号:SU-1510
仪器名称:
扫描式电子显微镜
英文名称:
所属分类:
分析仪器 > 电子光学仪器 > 扫描电镜
学科领域:
生物学
主要技术指标:
二次电子分辨率 3.0nm(高真空,30kV) 背散射电子分辨率 4.0nm(低真空:60Pa,30kV) 倍率 5 ~ 300,000倍 加速电压 0.3~30 kV 样品台 X 0~80mm Y 0~40mm Z 5~50mm T -20~80mm R 360° 样平台控制 手动(可选:2轴马达) **载入样品尺寸 直径:153mm **观察范围 直径:126mm(XYR并用) **样品高度 60mm (WD=15mm) 低真空范围 6-270Pa(从菜单设定) 灯丝 预对中钨灯丝 物镜光阑 4孔可变光阑 枪偏压 固定比例偏压、手动偏压、自动4偏压 检测器 二次电子检测器,高灵敏度半导体背散射电子检测器 EDX分析位置 WD=15mm,TOA=35° 真空系统 分子泵1台,机械泵1台 安全措施 停电,漏电,自动保护
主要功能:
分析物质内部结构