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中国科学院过程工程研究所拥有和频振动光谱仪、超分辨共聚焦显微镜、冷场发射扫描电子显微镜、超高效液相色谱质谱联用仪、热场发射扫描电子显微镜与能谱分析仪（多相SEM）、原位超高分辨场发射扫描电子显微镜及能谱仪(SEM)、600MHz核磁共振（生化）、化学吸附仪、微型流化床反应动力学分析仪(物质区域中心)、同步DSC-TGA热分析仪等科研仪器。
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